簡要描述:DLS低溫晶圓測試(晶圓測試溫控系統(tǒng))所有的關鍵部件均選用進口品牌,確保產品長時間可靠運行。同時所有產品發(fā)貨前均經過嚴格測試與檢驗,確保設備到客戶現(xiàn)場不會出現(xiàn)任何問題。
詳細介紹
DLS系列低溫冷水機(晶圓測試溫控系統(tǒng))主要由制冷系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、蓄冷容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成??刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術,高清液晶屏顯示,設有多項保護功能,確保設備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件要求。
全密閉系統(tǒng):采用全密閉式系統(tǒng)設計,整個循環(huán)管路只有加液蓋上留出的呼吸孔,載冷介質不會直接與空氣接觸,延長了介質使用壽命同時確保系統(tǒng)運行的穩(wěn)定性。
高效換熱系統(tǒng):制冷采用板式換熱器,換熱效率高、結構緊湊。
控制結果重復性:基于高級動態(tài)控制系統(tǒng),每次都能實現(xiàn)一致的控制結果,大大提升產品生產的穩(wěn)定性。
產品外觀:外觀設計吸取國外進口產品的設計理念,采用大口徑石英玻璃液位計,液位計與操作屏放在同一側,觀察方便,風格簡約時尚,比列協(xié)調,專有的色彩搭配。
質量保障:所有的關鍵部件均選用進口品牌,確保產品長時間可靠運行。同時所有產品發(fā)貨前均經過嚴格測試與檢驗,確保設備到客戶現(xiàn)場不會出現(xiàn)任何問題。
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